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半導體廢氣治理方案

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項目概述Project overview當今世界各國面臨的重大社會問題,集中表現為糧食、能源、人口、資源、環境等五個方面。我國的大氣污染嚴重,降塵量是全球陸地平均降塵量的一倍多,二氧化硫排放量高出全球陸地降平均排放量的40%。隨著高新技術的發展,給環境造成新的污染,例如金屬有機化學氣相淀積(MOVPE)是一類非…

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